2023年12月14日,苏州矽视科技有限公司首台关键尺寸量测设备(CDSEM)出机,该设备为苏州矽视科技自主研发,其中最重要的电子光学系统具有自主的核心技术,完全摆脱进口,主要性能指标媲美国外同类产品,为国产替代再添新军。
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