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EBI电子束缺陷检测设备

  该设备采用大束流高亮度电子枪及像差校正控制技术,兼具大视场、高速成像及先进多样的荷电控制手段,可用于先进工艺的图形晶圆的缺陷检测,尤其适用于高宽深比结构底部的形貌和材料缺陷,表面层以下的连通性相关的电性缺陷的检测。是先进工艺不可或缺的良率控制和工艺研发设备,解决国内先进工艺开发的卡脖子问题。

  产品亮点:融合国际先进技术的自主电子光学镜筒设计;比国内同类产品动态校正视场提升4x;连续扫描技术检测速率提升10x;高精度运动控制实现纳米级图像匹配精度;多种创新荷电控制方案;创新调理扫描成像技术。